發布時間:2020-09-24
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1.聚焦離子束系統
據相關介紹表明聚焦離子束系統應用主動防震臺有助于大幅度提升蝕刻、沉積、離子注入的加工質量。因為部分聚焦離子束系統在加工時容易受到地表震動或者火山噴發等異常環境的影響,這就容易使蝕刻、沉積、離子注入等加工出現偏差,而隔離震動后的加工效果將會得到提升。
2.掃描探針顯微鏡
主動防震臺還可容納并擴展至掃描探針顯微鏡。有許多科研人員在進行納米尺寸以及分子水平觀察時會在不經意間受到某些震動的影響,而主動防震臺的六個自由度防護功能將會隔離振動信號,并且通過相反信號緩解并降低它的影響力。
3.電阻拓展測試系統
據調查反饋近些年主動防震臺在電阻拓展測試系統中的應用率也越來越高。電阻拓展測試系統在進行超聲波測距或者信號采集時,若是有震動干擾,容易導致測試系統的參數出現微小浮動,而這種微小浮動也有可能導致信號采集數據失效或者電阻拓展試驗失敗。
主動防震臺的強大防震能力已得到科研人員與市場的認可與贊許。特別是那些性能可靠的主動防震臺更是粉絲量爆漲,據不完全統計,主動防震臺較為經典應用類型除了包括聚焦離子束系統、掃描探針顯微鏡以及電阻拓展測試系統外,還包括掃描隧道顯微鏡以及晶圓探測器等。